ワーク·ツール間の6自由度完全相対運動を目指した超精密機械の開発
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- 大岩 孝彰
- 静岡大学 工学部 機械工学科
書誌事項
- タイトル別名
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- Ultra-precise Machine with 6 DOF Perfect Relative Motion between Tool and Workpiece
抄録
超精密な機械の実現のためには各機械要素の性能向上だけではなく,機械全体の運動精度や内外乱すなわち外力や熱などの影響を受けずにワークとツールの相対位置精度を保証するメカニズムが要求される.本研究ではワークの載る定盤とツールとの間の6自由度相対運動をパラレルメカニズムを利用して正確に計測し,このデータを用いて機械を能動的に補正するシステムを提案する.本報ではコンセプトとシステムについて詳述する.<br>
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2004A (0), 542-542, 2004
公益社団法人 精密工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205648205824
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- NII論文ID
- 130004655800
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可