広帯域LiNbO<sub>3</sub>光変調器作製へのサンドブラスト法の適用

DOI
  • 山根 裕治
    住友大阪セメント　新規技術研究所　オプトエレクトロニクス研究グループ
  • 山本 太
    住友大阪セメント　新規技術研究所　オプトエレクトロニクス研究グループ
  • 藤田 貴久
    住友大阪セメント　新規技術研究所　オプトエレクトロニクス研究グループ
  • 佐久間 満
    住友大阪セメント　光電子事業部
  • 市川 潤一郎
    住友大阪セメント　新規技術研究所　オプトエレクトロニクス研究グループ

書誌事項

タイトル別名
  • Development of Broadband LiNbO<sub>3</sub> Optical Modulators using Sandblast Method

抄録

LiNbO3(LN)基板を用いた広帯域光通信用変調器の開発に、サンドブラスト法による基板加工の適用を試みた。高周波(>20GHz)では基板へのマイクロ波の放射損失が顕著であり、基板を薄く加工して損失を抑えることが重要である。そこで我々は、サンドブラスト法を用いて、電極下部の基板厚さを200μm以下に部分加工する一連のプロセス技術に関する研究を行った。加工条件の選択やマスクパタンの工夫により、加工の制御性が向上し、4インチ基板(厚さ1mm)の部分肉薄加工が可能になった。本加工法をLN変調器の試作に適用したところ、高周波特性が大幅に改善し、光帯域40GHzを達成した。

収録刊行物

キーワード

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390001205649901184
  • NII論文ID
    130007002259
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2002a.0.490.0
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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