エバネッセント光を利用したナノ光造形法に関する研究(第4報)

DOI
  • 稲月 友一
    東京大学　大学院工学系研究科　精密機械工学専攻
  • 梶原 優介
    東京大学　大学院工学系研究科　精密機械工学専攻
  • 高橋 哲
    東京大学　大学院工学系研究科　精密機械工学専攻
  • 高増 潔
    東京大学　大学院工学系研究科　精密機械工学専攻

書誌事項

タイトル別名
  • Study on Nano-Stereolithography Using Evanescent Wave (4th report)
  • 三次元造形における分解能制御の検討

抄録

本研究は,より複雑な三次元微小構造の創成を目的として,近接場光(エバネッセント光)を露光エネルギとして利用し,新しい微小構造創製法の確立を目指している.前報までにおいて,エバネッセント露光による樹脂硬化確認及び分解能の理論的,実験的検討を行った.本報では定在エバネッセント波を利用したナノメートルオーダの分解能制御,及びその積層法の検討を行ったので報告する.

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390001205650105600
  • NII論文ID
    130004657419
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2005s.0.25.0
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
    • KAKEN
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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