Basic Study of Ultra-High Vacuum Compatible Specimen Positoner with Introducing Mechanism Using Telescopic Stick-Slip Actuator
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- Hakamata Keisei
- Graduate School, The University of Tokyo
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- Niino Toshiki
- IIS, The University of Tokyo
Bibliographic Information
- Other Title
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- テレスコピック型スムーズインパクト駆動機構を利用した超高真空対応試料導入位置決め機構の検討
Abstract
圧電素子の急速変形と摩擦を利用することで,高分解能と長ストロークを同時に実現したスムーズインパクト駆動機構が知られている.これを利用して,電子顕微鏡等に用いられる試料導入およびステージ機構を小型化することを提案する.テレスコピック型スムーズインパクト駆動機構の駆動試験結果の報告と,先端における振動について考察を行う.
Journal
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- Proceedings of JSPE Semestrial Meeting
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Proceedings of JSPE Semestrial Meeting 2003A (0), 770-770, 2003
The Japan Society for Precision Engineering
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205650139392
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- NII Article ID
- 130005027028
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- Data Source
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- JaLC
- CiNii Articles
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- Abstract License Flag
- Disallowed