３軸角度センサに関する研究
書誌事項
- タイトル別名
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- Development of a three-axis angle sensor
- Improvement of the rolling sensor sensitivity
- 第３報：ローリングセンサ感度の向上
抄録
本研究では超精密ステージ等の運動体の姿勢制御並びに角度運動誤差の検出に用いるための３軸回り（ピッチング，ヨーイング，ローリング）の微小角度を，矩形格子とオートコリメーション法を組み合わせた角度検出原理により一括検出する事が可能な高感度３軸角度センサの開発を行っている．本報ではアフォーカル光学系による変位量拡大機構を用いる事で主にローリング方向角度検出感度の向上を試みた事を報告する．
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2009A (0), 797-798, 2009
公益社団法人 精密工学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205651184640
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- NII論文ID
- 130004659354
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可