ポリシングにおけるドレス条件がパッド表面性状に及ぼす影響に関する基礎研究

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タイトル別名
  • Basic Study on Effect of Dressing Method on Pad Surface Characteristics in Polishing Technique

抄録

本研究ではポリシングにおいて用いられるパッド表面性状を定量的に評価できるパラメータを実験的に検討すると同時に，ドレス条件の違いが当該パラメータに及ぼす影響を明らかにすることを目的としている．その結果，表面粗さ曲線の標準偏差値，並びにダブプリズムを用いて取得した画像の解析値としての接触率，接触点数，空間FFT解析値が有効であることを示した．

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  • CRID
    1390001205651753728
  • NII論文ID
    130004658868
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2008a.0.849.0
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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