ダブプリズムを用いた接触画像解析法に基づくポリシングパッド表面性状の定量評価手法の開発に関する研究

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Development of Evaluation Method for Geometrical Characterization of Polishing Pad Surface Texture Based on Contact Image Analysis Using Image Rotation Prism
Effect of Various Pad Conditions on Proposed Evaluation Parameter Values and Correlation with Polishing Test Results
評価パラメータ値に及ぼす各種パッド諸条件の影響と研磨結果との相関関係

本研究ではダブプリズムを用いた接触画像解析法に基づくポリシングパッド表面性状の定量評価手法の確立を目的とし，接触率や空間FFT等を評価パラメータとして提案している．本報告では評価パラメータ値に及ぼす各種パッド諸条件の影響について検討した結果を示す．