A ball-screw positioning stage with posture error correction

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Other Title
  • 姿勢補正機能をもつボールねじ式位置決めステージ
  • First report - concept and prototype
  • 第1報 構想と装置の試作

Abstract

本研究は，外力やねじの振れ回り等から生じるテーブルの姿勢・位置誤差を補正する機能をもつボールねじ式位置決めステージの開発を目的とする．本手法では，ボールねじのダブルナット間のねじ軸近傍に複数の圧電素子を配する．この各圧電素子の伸縮量を変えることによりヨー（およびピッチ）方向の動きをつくり，テーブルの姿勢補正を行う．本報では装置を試作し，試作装置の基礎動作特性を調べた結果について報告する．

Journal

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1390001205652384384
  • NII Article ID
    130005029950
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2009s.0.947.0
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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