レーザー・集束イオンビーム複合加工に関する研究（第１報）

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タイトル別名
  • レーザー・集束イオンビーム複合加工機の開発

抄録

超精密微細な表面構造を持つ光学部品や、マイクロ医療用デバイスなどの加工を実現するために、ミリメートルからセンチメートルサイズの面積を、ナノメートルからマイクロメートオーダーで加工できる「レーザー・集束イオンビーム複合加工機」を開発した。この加工機は、ＦＩＢと３種類のレーザー、そしてＡＦＭを有し、工作物の着脱無しで機上計測しながら、デバイス形状の全体に亘り、超精密微細三次元構造を加工できる。

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390001205652421120
  • NII論文ID
    130005029385
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2008s.0.955.0
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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