CVDダイヤモンド膜の定圧研削と精密研磨技術の研究

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抄録

CVDダイヤモンドは単結晶ダイヤモンドと同様の優れた特徴を持つことから、切削工具などへ応用が期待されている。しかし、従来の加工法では加工変質層が発生すること、加工に長時間要することが問題である。本研究では、難加工材であるCVDダイヤモンド膜にダイヤモンド砥石を用いて定圧研削を行い、その後紫外線照射下で石英定盤を用いて研磨を行う新しい加工法の検討を行った。

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  • CRID
    1390001205652429440
  • NII論文ID
    130004658643
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2008a.0.443.0
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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