高フォトンレーザアブレーションによる理論空間解像度を超えた微細加工技術

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タイトル別名
  • Fine processing technology over the theoretical spatial resolution with high photon laser ablation

説明

我々は高フォントエネルギーを有するArFエキシマレーザを用いたレーザーアブレーション技術を提案する。本手法ではレーザ強度の高い領域のみを選択して照射することで、加工物の原子間結合を直接解離して除去加工を行う。そのため照射領域外への熱溶融の影響を抑えることができる。さらに先端を波長以下に加工した光ファイバーを通し、近接場光として用いることで理論空間解像度を超えた微細加工が可能となる。

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390001205652821888
  • NII論文ID
    130004657964
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2005s.0.97.0
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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