蛍光染色フィルター法によるＣＭＰスラリーの微生物検出方法の検討

澤山 成行, 島北 寛仁, 山口 典生, 松島 寛招, 梅崎 洋二, 黒河 周平, 土肥 俊郎

doi:10.11522/pscjspe.2007a.0.1003.0

蛍光染色フィルター法によるＣＭＰスラリーの微生物検出方法の検討

DOI

澤山成行

松下エコシステムズ
島北寛仁

松下エコシステムズ
山口典生

松下環境空調エンジニアリング
松島寛招

松下環境空調エンジニアリング
梅崎洋二

九州大学
黒河周平

九州大学
土肥俊郎

九州大学

書誌事項

タイトル別名

Microbial Cell Detection in CMP Slurry with Fluorescent Staining Filter Method

説明

半導体の微細化が進むにつれてＣＭＰスラリー中の微生物汚染は半導体製造工程への影響が危惧されている。その検出方法として培養法が用いられているが、培養時間や操作性などに課題がある。そこで、迅速かつリアルタイムに計測する技術が求められている、演者らは蛍光染色フィルター法に着目し自動微生物計測装置を開発、ＣＭＰスラリー中の微生物管理を検討した。今後、ＣＭＰスラリーの清浄度管理に応用されることが期待される。