マルチゾーン干渉計走査法による非球面形状測定法における測定精度の評価
書誌事項
- タイトル別名
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- Evaluation of Measurement Accuracy in Aspherical Measurement by Multi Zone Interfere Scanning
抄録
これまでの非球面測定は微小な触針を用いた接触式の測定法が主に用いられてきた．しかし，プローブの精度や接触圧の変化に測定精度が依存するなどの問題点があった．それに対して，マルチゾーン干渉計走査法による非球面形状測定法における測定ではそれらの影響を受けないと考えられる．そこで，様々な非球面形状の金型を測定することにより，従来の接触式測定法と精度の比較を行ったので報告する．
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2007A (0), 125-126, 2007
公益社団法人 精密工学会
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キーワード
詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205653134080
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- NII論文ID
- 130005027746
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可