新型リニアモータ・トンネルアクチュエータとリニアボールガイドを組合せた高速ナノ位置決め装置

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タイトル別名
  • High-Speedy Nanometer Positioning Device by the Combination of New Type Linear Motor (Called Tunnel Actuator) and Linear Ball Guideway.

説明

新型リニアモータ(トンネルアクチュエータ)は従来のリニアモータに比べて電機子と永久磁石の間に吸引力が殆どないので、リニアボールガイドへの負荷が小さい。また磁束のもれが小さいので小型で推力が大きいという特長を持つ。本研究は、新型リニアモータを用い、ステージ(ストローク200mm)をリニアボールガイドで支持する位置決め装置に、高速PIDフィードバックコントローラを用いることにより高速でナノメートルレベルの超精密位置決めを達成することを目的としている。ステップ応答、台形波速度(最高速400mm/s)のPTP方式の位置決めでナノメートルレベルの分解能、サブnm精度(かたより、ばらつき)を得ることができた。

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390001205653731456
  • NII論文ID
    130005028669
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2007s.0.711.0
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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