圧電駆動型形状可変X線ミラーを用いたアダプティブ集光光学系の開発
説明
近年の第三世代放射光施設の稼働により,高い輝度を持つX線を,各種のX線分析に利用することが可能となった.これらの分析技術の性能を高めるために,X線を集光するための集光光学素子が多く用いられている.我々は現在,従来の光学素子にはない集光径可変機能をもつX線ミラーである,圧電駆動型形状可変ミラーの開発を行っている.本発表では開発した形状可変ミラーの形状安定性および集光特性の評価について詳しく報告する.
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2014S (0), 1283-1284, 2014
公益社団法人 精密工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205654023936
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- NII論文ID
- 130005472305
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可