マイクロマシン/MEMSの開発（キーノートスピーチ）

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抄録

本報では，マイクロマシン／MEMSについて，開発の歴史を概観し，開発されたマイクロマシンを，通常の大きさの機械の定義であるルーローの定義に当てはめ，その差違を検討した．また，マイクロマシンの定義の変遷を考察し，通常の機械を設計製作する上で共通の部品となる機械要素，機構，組立/加工工具について，これに対応するマイクロ機械要素・機構・工具の開発状況を検討し，今後のマイクロマシンの開発を方向を考察した．

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390001205654158720
  • NII論文ID
    130005031381
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2012s.0.683.0
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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