大気圧プラズマによるチャネルカット単結晶シリコンの内壁エッチングの検討
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- Osaka Taito
- Osaka University
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- Hirano Takashi
- Osaka University
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- Yabashi Makina
- RIKEN SPring-8 Center
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- Sano Yasuhisa
- Osaka University
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- Tono Kensuke
- Japan Synchrotron Radiation Research Institute
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- Inubushi Yuichi
- RIKEN SPring-8 Center
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- Sato Takahiro
- RIKEN SPring-8 Center
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- Ogawa Kanade
- RIKEN SPring-8 Center
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- Matsuyama Satoshi
- Osaka University
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- Ishikawa Tetsuya
- RIKEN SPring-8 Center
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- Yamauchi Kazuto
- Osaka University
Abstract
硬X線用モノクロメータとして，その簡便さの為，チャネルカット結晶が多く使用されている．しかし内壁部表面近傍には，結晶学的なダメージが多く存在し，表面荒さも一般的な研磨表面には遠く及ばない．Ｘ線自由電子レーザー等，可干渉性の高い光源への適用の際，そのようなダメージは光源性能を劣化させる要因となり得る．我々は大気圧プラズマを用い，内壁表面のエッチングを試みた．本発表では基礎検討の結果を報告する．
Journal
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- Proceedings of JSPE Semestrial Meeting
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Proceedings of JSPE Semestrial Meeting 2013A (0), 653-654, 2013
The Japan Society for Precision Engineering
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205654655872
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- NII Article ID
- 130004661350
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- JaLC
- CiNii Articles
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- Abstract License Flag
- Disallowed