マイクロサポートピンのためのサンドブラスト加工シミュレーション法の開発

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タイトル別名
  • Development of the Simulation Method for the Sandblasting of Micro Support Pin.

抄録

半導体製造装置でウエハを固定するピン（マイクロサポートピン）をサンドブラスト加工で製造したいニーズがある。所望の形状を得るには、シミュレーションの導入が不可欠だが、現在サンドブラスト加工をシミュレーションする適切な方法が存在しない。本研究では、流体解析ソフトとZmapモデルを組み合わせることにより、マイクロサポートピンを製造するためのサンドブラスト加工のシミュレーション法の基礎的機能を開発した。

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390001205655727104
  • NII論文ID
    130005031033
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2012s.0.1101.0
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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