New calibration system for interferometric measurement of gauge blocks without wringing onto a platen (3rd report)

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  • 非リンギング方式によるゲージブロックの次世代校正方法（第3報）
  • Measurement of reference gauge block for gauge block comparator
  • コンパレータ校正用ゲージブロックの測定

Description

ゲージブロック（以下GB）の組み合わせを用いた基準器として，コンパレータ校正用マスタがある．このマスタは2つのGBにおける中央寸法差の差などが正確に値付けされ，主にGBコンパレータの校正に用いられる．このマスタの値付けは現状の基準面へのリンギングを用いたGB測定方法では高精度測定が難しかった．そこで開発した非リンギング方式のGB干渉計により，現状の方式に比べ簡便かつ高精度な測定を実現した．

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1390001205656819328
  • NII Article ID
    130004659706
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2010s.0.401.0
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • Abstract License Flag
    Disallowed

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