液中プラズマCVD法によるダイヤモンド膜の形成
書誌事項
- タイトル別名
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- Synthesis of diamond film by in-liquid plasma CVD
説明
本研究の目的は種々の基板上に，液中プラズマCVD法を用いてダイヤモンド膜を形成することである。本報告では，基板として，銅およびダイヤモンドを用いている。銅基板上には，多結晶ダイヤモンド膜が形成されたが，銅とダイヤモンドの熱膨張係数の差が大きく，剥離が発生した。ダイヤモンド単結晶基板上では， (100)基板上には，エピタキシャル成長し，(111)基板上には，多結晶ダイヤモンド膜が形成された。膜生成速度は32μm/hであった。
収録刊行物
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- 精密工学会学術講演会講演論文集
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精密工学会学術講演会講演論文集 2014A (0), 399-400, 2014
公益社団法人 精密工学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205657330176
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- NII論文ID
- 130005479408
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可
