革新的CMP/P-CVM融合装置の設計・試作（第4報）

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タイトル別名
  • A-type装置による炭化ケイ素を加工対象とした平坦化特性の評価

抄録

我々は機械加工と大気圧雰囲気下におけるプラズマエッチング(Plasma Chemical Vaporization Machining; PCVM)を融合させた高効率な平坦化を提案している．前報(第2報)では機械加工とPCVMを交互に行う装置の試作とその融合加工法の原理検証を行った．本報では，加工対象である炭化ケイ素に対して融合加工を繰り返し行い，その繰り返し回数と表面形状の関係について報告する．

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390001205657773312
  • NII論文ID
    130005479232
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2014a.0_15
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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