大気圧プラズマを用いた狭ギャップチャネルカット結晶X線モノクロメータの無歪み内壁エッチング法の開発

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抄録

チャネルカット結晶は高輝度硬X線光源用モノクロメータとして有用であるが，回折面である結晶内壁に対する無歪み処理は既存技術では困難である．本研究では，大気圧プラズマを用いた無歪み内壁エッチングの適用を検討し，狭い溝構造へとアクセス可能な粗加工用・精密加工用の2種類の電極を作製した．実験条件及び加工手法の最適化を行い，いずれの電極においても約10 μmの加工量に対して約0.5 nm rmsの平滑面の獲得に成功した．

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  • CRID
    1390001205658099584
  • NII論文ID
    130006434650
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2017a.0_847
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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