革新的CMP/P-CVM融合装置の設計・試作（第2報）

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タイトル別名
  • 基本型融合加工装置(A-type)とその基本特性

抄録

大気圧下でのプラズマエッチングであるPCVM（Plasma Chemical Vaporization Machining）は，加工変質層を選択的にエッチングする特性を有する．被加工物表面凸部に加工変質層を形成する機械加工部と，その層を高能率に除去するPCVM部から成る基本型CMP/PCVM融合装置を試作し，両者の融合により被加工物表面の段差解消能力が向上する可能性を見出した結果について報告する．

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390001205658825856
  • NII論文ID
    130005478820
  • DOI
    10.11522/pscjspe.2014s.0_273
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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