マルチ電極システムによるゲート絶縁薄膜の非破壊評価
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- Fukashi Junpei
- 熊本大
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- Furuta Masaaki
- 熊本大
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- Kubota Hiroshi
- 熊本大
書誌事項
- タイトル別名
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- Multiple-electrode system for non-destructive evaluation of ultra-thin oxide
抄録
In previous study, we developed a technique to evaluate the electrical conductivity of the whole gate insulator of a 12-inch Si wafer using a non-destructive and non-contact pulse photo-conductivity method. But, the time duration of measuring just 170 points on the specimen was very long due to one single probe in our system and a slow move of the stage. We have, then, developed a multiple-electrode system with 100 electrodes and multiple-flash lamp for a faster evaluation. This system is necessary for mass production of semiconductor devices.
収録刊行物
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- 電気関係学会九州支部連合大会講演論文集
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電気関係学会九州支部連合大会講演論文集 2013 (0), 178-178, 2013
電気・情報関係学会九州支部連合大会委員会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205664421248
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- NII論文ID
- 130005487319
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可