半導体プロセス・デバイスシミュレーションの自作と業務への利用効果

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タイトル別名
  • A new design of semiconductor Process/Device simulation and It's Effects to Production Flow

説明

半導体生産に対して、プロセス・デバイスシミュレーションを自作した。物理データに関しては、近似式を工夫して設定し、シミュレーションの設定モデルでは、実際のＩＣ縦構造およびＩＣ特性から、実績値を利用して設定した。実験前の見積り評価が可能となり、実験回数の削減および異常発生時の異常項目の推定が容易となり、業務効率を大幅に向上することが出来た。

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390001205667036544
  • NII論文ID
    130004651648
  • DOI
    10.11487/oukan.2007.0.92.0
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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