物質表面におけるイオン散乱の仕事関数への依存性
書誌事項
- タイトル別名
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- Dependence of ion scattering on the surfaces work function
説明
材料表面加工等に用いられる負イオンを生成し、その生成効率を見積もる測定系を立ち上げた。正負イオンと電子を弁別するために静電場および磁場を用い、チャンネルトロンで検出したイオンのパルス信号をカウントした。Arイオンをターゲットに約1mA/m^2 照射したところ、散乱されたイオンは10^5カウント/秒程度で検出された。講演ではイオンを照射する表面の仕事関数 を変化させた時の結果も発表する。
収録刊行物
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- 表面科学学術講演会要旨集
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表面科学学術講演会要旨集 35 (0), 132-, 2015
公益社団法人 日本表面真空学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205677884672
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- NII論文ID
- 130005489115
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可
