Layered compound semiconductor electronics
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- Ando Atsushi
- National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST)
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- Mieda Eiko
- National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST)
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- Mori Takahiro
- National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST)
Bibliographic Information
- Other Title
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- 層状化合物半導体エレクトロニクス
Description
グラフェンに続く次世代ナノエレクトロニクス材料として注目を集めている、二硫化モリブデンをはじめとした層状化合物半導体は、他の原子薄膜材料と同様に「比表面積」が大きく、その応用展開には、表面の理解と制御が重要となる。本講演では、我々が実施してきたデバイスパラメータの抽出事例、ナノシート分散液の調整とデバイス作製事例等について、走査型プローブ顕微鏡、ラマン分光、局所エッチング等の結果も含めて紹介する。
Journal
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- Abstract of annual meeting of the Surface Science of Japan
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Abstract of annual meeting of the Surface Science of Japan 35 (0), 316-, 2015
The Japan Society of Vacuum and Surface Science
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205678304384
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- NII Article ID
- 130005489337
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- Data Source
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- JaLC
- CiNii Articles
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- Abstract License Flag
- Disallowed
