層状化合物半導体エレクトロニクス
書誌事項
- タイトル別名
-
- Layered compound semiconductor electronics
説明
グラフェンに続く次世代ナノエレクトロニクス材料として注目を集めている、二硫化モリブデンをはじめとした層状化合物半導体は、他の原子薄膜材料と同様に「比表面積」が大きく、その応用展開には、表面の理解と制御が重要となる。本講演では、我々が実施してきたデバイスパラメータの抽出事例、ナノシート分散液の調整とデバイス作製事例等について、走査型プローブ顕微鏡、ラマン分光、局所エッチング等の結果も含めて紹介する。
収録刊行物
-
- 表面科学学術講演会要旨集
-
表面科学学術講演会要旨集 35 (0), 316-, 2015
公益社団法人 日本表面真空学会
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1390001205678304384
-
- NII論文ID
- 130005489337
-
- データソース種別
-
- JaLC
- CiNii Articles
-
- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可