The deopsiton technology of GZO films by using Ion-plating method
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- Yim Cheol-mun
- NACHI-FUJIKOSHI CORP.
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- Sonobe Masaru
- NACHI-FUJIKOSHI CORP.
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- Kato Yuji
- HEMMI Slide Rule Co., Ltd.
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- Yasuoka manabu
- NACHI-FUJIKOSHI CORP.
Bibliographic Information
- Other Title
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- イオンプレーティング法によるGZO薄膜の成膜
Abstract
HCDガンイオンプレーティング法を用いてガリウムドープ酸化亜鉛（GZO）膜を成膜し、評価した。その結果についてご報告する。
Journal
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- Abstract of annual meeting of the Surface Science of Japan
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Abstract of annual meeting of the Surface Science of Japan 30 (0), 30-30, 2010
The Japan Society of Vacuum and Surface Science
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205678726656
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- NII Article ID
- 130005038091
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- JaLC
- CiNii Articles
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- Abstract License Flag
- Disallowed