電池駆動式イオンポンプを適用した試料搬送導入装置の性能
書誌事項
- タイトル別名
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- The performance of a sample transfer vessel with a battery drive ion pump
説明
表面分析において，大気暴露による表面汚染の問題は深刻である．この問題を回避するため，真空中に試料を封じ込め，装置間を移送するための試料搬送導入装置の開発が行なわれている．しかし，超高真空の実現には大型の電源であったり，常時真空引きができないなどの問題がある．今回，電池駆動可能な小型の超高真空イオンポンプと組み合わせた可搬型超高真空試料搬送導入装置を開発した．その特徴や性能について報告する．
収録刊行物
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- 表面科学学術講演会要旨集
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表面科学学術講演会要旨集 35 (0), 72-, 2015
公益社団法人 日本表面真空学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205679029120
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- NII論文ID
- 130005489581
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可