オージェ電子分光法の最近の活用事例

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タイトル別名
  • Recent Applications of Auger Electron Spectroscopy

抄録

AESとXPSは，どちらも表面から深さ数nmの領域を分析する表面分析手法である。しかし、XPSは多くの有機・無機試料に対して幅広く活用されているのに対して、AESは導体試料に対する元素分析や面分析といった限定的に用いられることが多い。最近では、AESにおける絶縁物分析の方法も確立され、AESを使った化学状態分析も実用的なレベルになってきた。本講演では、最近のAESの活用事例を紹介するとともに、AES分析の可能性について述べる。

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390001205679838464
  • NII論文ID
    130005175855
  • DOI
    10.14886/sssj2008.36.0_93
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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