Glass GEMの開発

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タイトル別名
  • Development of Glass GEM

抄録

GEMはマイクロパターンガス検出器として広く知られている。本研究では、感光性のガラス基板を用いてフォトリソグラフィにより微細な孔を多数作ったGlass GEMを試作し、その性能の調査を行った。

収録刊行物

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390001205723746432
  • NII論文ID
    130007034870
  • DOI
    10.11561/aesj.2012s.0.96.0
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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