Glass GEMの開発

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タイトル別名
  • Development of Glass GEM

抄録

GEMはマイクロパターンガス検出器として広く知られているが、本研究では、感光性のガラス基板を用いてフォトリソグラフィにより微細な孔を多数作ったGlass GEMを試作し、性能の向上が見られたので、その概要について報告する。

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390001205725751680
  • NII論文ID
    130007036896
  • DOI
    10.11561/aesj.2011s.0.92.0
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles
  • 抄録ライセンスフラグ
    使用不可

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