Glass GEMの開発
書誌事項
- タイトル別名
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- Development of Glass GEM
抄録
GEMはマイクロパターンガス検出器として広く知られているが、本研究では、感光性のガラス基板を用いてフォトリソグラフィにより微細な孔を多数作ったGlass GEMを試作し、性能の向上が見られたので、その概要について報告する。
収録刊行物
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- 日本原子力学会 年会・大会予稿集
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日本原子力学会 年会・大会予稿集 2011s (0), 92-92, 2011
一般社団法人 日本原子力学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205725751680
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- NII論文ID
- 130007036896
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可