301 液中プラズマ化学蒸着における化合物半導体の高速形成(機械材料・材料加工I)

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• CRID

  1390001205860458368

• NII論文ID

  110009913695

• DOI

  10.1299/jsmecs.2012.50.30101

• ISSN

  24242764

• Web Site

  https://www.jstage.jst.go.jp/article/jsmecs/2012.50/0/2012.50_30101/_pdf

• 本文言語コード

  ja

• データソース種別

  • JaLC
  • Crossref
  • CiNii Articles
  • OpenAIRE