1316 プラズマCVD法を用いたDLC薄膜生成に関する研究(熱工学III)

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• CRID

  1390001205860485120

• NII論文ID

  110009913888

• DOI

  10.1299/jsmecs.2012.50.131601

• ISSN

  24242764

• Web Site

  https://www.jstage.jst.go.jp/article/jsmecs/2012.50/0/2012.50_131601/_pdf

• 本文言語コード

  ja

• データソース種別

  • JaLC
  • Crossref
  • CiNii Articles
  • OpenAIRE