書誌事項
- タイトル別名
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- 315 Trial manufacturing of an inner atmosphere-controllable, sealed container-type double-side CMP machine and its polishing ability
収録刊行物
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- 日本機械学会九州支部講演論文集
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日本機械学会九州支部講演論文集 2010.63 (0), 109-110, 2010
一般社団法人 日本機械学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205865102976
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- NII論文ID
- 110008745310
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- ISSN
- 24242780
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- Crossref
- CiNii Articles