書誌事項
- タイトル別名
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- 909 Polishing Characteristics of Difficult to machine Materials Under Various Controlled Atmospheres Using Bell-Jar Type CMP Machine
収録刊行物
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- 日本機械学会九州支部講演論文集
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日本機械学会九州支部講演論文集 2012.65 (0), 323-324, 2012
一般社団法人 日本機械学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205865599616
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- NII論文ID
- 110009952497
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- ISSN
- 24242780
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- Crossref
- CiNii Articles