-
- 芦田 佐吉
- 元(株)日立製作所:(株)山寿セラミックス
書誌事項
- タイトル別名
-
- Development, Commercialization of LiNbO_3, LiTaO_3 Simple Crystal for SAW Devices(<Special Issue 1>Consolidation of The Japanese Association for Crystal Growth and The Association of Synthetic Crystal Science and Technology)
- 招待論文 SAW素子用LiNbO3,LiTaO3単結晶の開発、実用化
- ショウタイ ロンブン SAW ソシヨウ LiNbO3 LiTaO3タンケッショウ ノ カイハツ ジツヨウカ
この論文をさがす
抄録
LiNbO_3,LiTaO_3結晶を使用したSAW素子の開発経過について報告する.LiNbO_3単結晶128°Y板は,TV-IFなどのIF用素子に大量に使用された.しかし,固溶体のために音速のばらつきが存在することなども分かり,組成のコントロールや,非破壊測定装置の導入により歩留まり向上を図った.LiTaO_3に関しては,自動車電話や,携帯電話に使用されて大量に使用される手がかりを見出すことが出来た.今後は,設計に応じた,プロセスにうまく対応したウエーハ基板の開発が必要である.
収録刊行物
-
- 日本結晶成長学会誌
-
日本結晶成長学会誌 33 (1), 7-11, 2006
日本結晶成長学会
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1390001205897342464
-
- NII論文ID
- 110004735426
-
- NII書誌ID
- AN00188386
-
- ISSN
- 21878366
- 03856275
-
- NDL書誌ID
- 7913180
-
- 本文言語コード
- ja
-
- データソース種別
-
- JaLC
- NDL
- CiNii Articles
-
- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可