書誌事項
- タイトル別名
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- Stitching technique for a wide range of observation area using Electron Probe Surface Roughness Analyzer
抄録
In 3D measurement using electron beam you can obtain extremely high precision information for an area electron beam can scan. However, there has been a strong demand for high resolution measurement of wider areas. This system, which is capable of stitching multiple image fields captured in high precision, now satisfies this demand. Problem solutions in stitching and data obtained are introduced below.
収録刊行物
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- 生産加工・工作機械部門講演会 : 生産と加工に関する学術講演会
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生産加工・工作機械部門講演会 : 生産と加工に関する学術講演会 2002.4 (0), 87-88, 2002
一般社団法人 日本機械学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001205898821888
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- NII論文ID
- 110002485397
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- ISSN
- 24243094
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- Crossref
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可