中間流およびすべり流領域における軸流分子ポンプの排気特性

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  • Performance of a Turbomolecular Pump in the Transition and Slip Flow Regime
  • チュウカンリュウ オヨビ スベリリュウ リョウイキ ニ オケル ジクリュウ ブ

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抄録

分子間衝突に関連してつぎの二つの仮定、すなわち翼流路内における分子数密度の一様性および分子間衝突前後の運動方向の独立性を新たに設けて、中間流およびすべり流領域における軸流分子ポンプの排気特性を理論的に研究した。つぎにこの理論結果を種々の幾何学的緒元をもつ羽根車に関する実験結果と比較検討し、理論が自由分子流から中間流を経てすべり流にいたる広い圧力範囲にわたって適用できることを確かめた。

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