めっき銅薄膜配線のエレクトロマイグレーション耐性支配因子の解明

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• CRID

  1390001205942125824

• NII論文ID

  130006731664

• DOI

  10.1299/jsmeth.2017.52.146

• ISSN

  24242713

• Web Site

  https://www.jstage.jst.go.jp/article/jsmeth/2017.52/0/2017.52_146/_pdf

• 本文言語コード

  ja

• データソース種別

  • JaLC
  • Crossref
  • CiNii Articles