20pCB-6 大気圧・真空インターフェースのためのカスケードアーク放電源の開発とその特性評価

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タイトル別名
  • 20pCB-6 Development of a cascade arc plasma source and its characterization for vacuum-atmosphere interface device

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390001205958089856
  • NII論文ID
    110010056911
  • DOI
    10.11316/jpsgaiyo.71.1.0_888
  • ISSN
    21890803
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles

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