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- 宮崎 康次
- 九州工業大学大学院工学研究院
書誌事項
- タイトル別名
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- Temperature Measurements by Using MEMS(<Special Issue>The 1st Symposium on Micro-Nano Engineering)
- MEMSを利用した温度測定
- MEMS オ リヨウ シタ オンド ソクテイ
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抄録
We used metal thin films prepared by a simple MEMS technique for temperature measurements. We calibrated the decreased thermoelectric power of metal thin film thermocouples (TFTCs), and used those for measurements of temperature distribution at microscopic area. We applied the TFTCs to the Scanning Thermal Microscope (SThM) for developments of temperature measurements. We used metal thin film for thermal conductivity measurements of thin films as both a micro-heater and a temperature sensor called 3ω method. The mechanisms of thermal conductivity reduction of nano-structured materials can be discussed through thermal conductivity measurements at low temperature.
収録刊行物
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- 日本機械学会論文集C編
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日本機械学会論文集C編 76 (768), 1890-1892, 2010
一般社団法人 日本機械学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001206385772160
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- NII論文ID
- 110007685427
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- NII書誌ID
- AN00187463
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- ISSN
- 18848354
- 03875024
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- NDL書誌ID
- 10810601
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDL
- Crossref
- CiNii Articles
- KAKEN
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可