機能性酸化物のコンビナトリアル薄膜の作製と電子状態解析

  • 大久保 勇男
    東京大学大学院工学系研究科応用化学専攻
  • 石原 敏裕
    東京大学大学院工学系研究科応用化学専攻
  • 北村 未歩
    東京大学大学院工学系研究科応用化学専攻
  • 尾嶋 正治
    東京大学大学院工学系研究科応用化学専攻 東京大学放射光連携研究機構

書誌事項

タイトル別名
  • Combinatorial Fabrications and Electronic-state Evaluations of Functional Complex Metal Oxides
  • キノウセイ サンカブツ ノ コンビナトリアル ハクマク ノ サクセイ ト デンシ ジョウタイ カイセキ

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抄録

We have developed a continuous composition spread-pulsed laser deposition (CCS-PLD) system of scanning laser for exploring new functional complex metal oxides. Our new CCS-PLD system is based on a precisely controlled synchronization between the laser firing, target exchange, linear mask motion and mirror swinging, and provides more flexibility and control than earlier PLD-based approaches. Most importantly, the deposition energetics and the film thickness are kept constant across the entire composition range by using scanning laser. In this study, we fabricated binary composition-spread films composed of LaNiO3 and LaMnO3. Synchrotron radiation-photoemission spectroscopy of LaNiO3-LaMnO3 composition spread films was carried out to evaluate the valence band electronic structures. Here we report on the high-throughput fabrications and evaluations using the combination of composition spread thin film growth techniques and synchrotron radiation-photoelectron spectroscopy.

収録刊行物

  • 表面科学

    表面科学 30 (1), 2-6, 2009

    公益社団法人 日本表面科学会

参考文献 (18)*注記

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