ナノ材料のプラズマプロセシングの研究の現状と将来

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タイトル別名
  • Present and Future of Research on Plasma Processing of Nanomaterials
  • ナノ ザイリョウ ノ プラズマプロセシング ノ ケンキュウ ノ ゲンジョウ ト ショウライ

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抄録

This paper reviews production of nanoparticles using low pressure reactive plasmas and its application to quantum dot sensitized solar cells. For the method, nanoparticles of several nm in size with a small size dispersion are produced in gas phase using reactive plasmas, and then the nanoparticles and radicals are co-deposited on a substrate. This method realizes one-step deposition of nanoparticle composite films in a controllable way.

収録刊行物

  • 表面科学

    表面科学 34 (10), 520-527, 2013

    公益社団法人 日本表面科学会

参考文献 (41)*注記

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