Mechanism and Performance Limit of Electrostatic Microactuators
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- TOSHIYOSHI Hiroshi
- Institute of Industrial Science, University of Tokyo
Bibliographic Information
- Other Title
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- マイクロマシン 実用化とナノ領域への展開 静電マイクロアクチュエータの駆動機構と設計限界
- カイセツ セイデンマイクロアクチュエータ ノ クドウ キコウ ト セッケイ ゲンカイ
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Journal
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- Journal of The Society of Instrument and Control Engineers
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Journal of The Society of Instrument and Control Engineers 42 (1), 18-23, 2003
The Society of Instrument and Control Engineers
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Keywords
Details 詳細情報について
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- CRID
- 1390001206516715648
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- NII Article ID
- 10010182072
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- NII Book ID
- AN00072406
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- ISSN
- 18838170
- 04534662
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- NDL BIB ID
- 6433591
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- JaLC
- NDL
- CiNii Articles
