マイクロマシン　　実用化とナノ領域への展開　　分光分析への応用

DOI
  • 岩岡 秀人
    横河電機 (株) R & Dセンター 社団法人 計測自動制御学会
  • 原 仁
    横河電機 (株) R & Dセンター 社団法人 計測自動制御学会
  • 渡辺 哲也
    横河電機 (株) R & Dセンター 社団法人 計測自動制御学会

書誌事項

タイトル別名
  • Application of Micromachining Technology for Spectroscopy

収録刊行物

  • 計測と制御

    計測と制御 42 (1), 52-55, 2003

    公益社団法人 計測自動制御学会

キーワード

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1390001206516719872
  • NII論文ID
    130003697729
  • DOI
    10.11499/sicejl1962.42.52
  • ISSN
    18838170
    04534662
  • 本文言語コード
    ja
  • データソース種別
    • JaLC
    • CiNii Articles

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