Infrastructure for Micro/Nanomachine Fabrication

DOI
  • SUGIYAMA Susumu
    Department of Robotics, Faculty of Science & Engineering, Ritsumeikan University

Bibliographic Information

Other Title
  • マイクロマシン　　実用化とナノ領域への展開　　マイクロ・ナノマシン製造インフラストラクチャー　　ファンダリー・ネットワーク構築に向けて
  • ファンダリー・ネットワーク構築に向けて

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Keywords

Details 詳細情報について

  • CRID
    1390001206516734336
  • NII Article ID
    130003697723
  • DOI
    10.11499/sicejl1962.42.12
  • ISSN
    18838170
    04534662
  • Text Lang
    ja
  • Data Source
    • JaLC
    • CiNii Articles

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