低湿度雰囲気における液晶表示装置向け高温ポリシリコン用ガラス表面への水分吸着量

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  • Amount of Adsorbed Water onto Surface of Glass for High Temperature Poli-Silicon TFT in Low Humidity Environment
  • テイシツド フンイキ ニ オケル エキショウ ヒョウジ ソウチ ムケ コウオン ポリシリコンヨウ ガラス ヒョウメン エノ スイブン キュウチャクリョウ

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抄録

薄型表示装置の基板材料としてガラスが使用され、ガラス基板表面にシリコン薄膜を蒸着後、液晶制御用の半導体回路が形成される。薄型表示装置は高速化、高精細化および省電力化等を目的として微細化が進んでおり、最先端の半導体デバイスに類似した有機汚染物質対策が必要になると考えられる。本研究では、基板表面への有機汚染物質吸着に影響するとされる水分吸着量を把握するため、低湿度雰囲気(14〜1000ppb)における水分吸着実験を行った。API-MSを用いた実験によって、高温ポリシリコン用ガラス基板表面への水分吸着量を求め、BET吸着等温式にてまとめた。気中水分濃度10ppbレベルにて、水分吸着量が1ng/cm^2以下になることを示した。

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参考文献 (14)*注記

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