書誌事項
- タイトル別名
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- Coupled Vtbration of Micro-canti1ever Array
- ヘイレツ ビショウ シンドウシ ノ シンドウレンセイ
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説明
The coupled vibration of micro-cantilevers is analyzed to develop high-speed information and sensing devices that use micro-actuator arrays. Main causes for it are the airflow around cantilevers and the elastic deformation of the root of cantilevers. The former is calculated by replacing the cantilevers with strings of spheres, combining the airflow force of spheres with an ordinary beam equation. The latter is analyzed by using FEM. By combining two results, the relationship between cantilever design parameters and total vibration amplitude is indicated graphically.
収録刊行物
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- マイクロメカトロニクス
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マイクロメカトロニクス 43 (1), 67-75, 1999
一般社団法人 日本時計学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390001206572355840
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- NII論文ID
- 110002687100
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- NII書誌ID
- AA11546384
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- ISSN
- 24320358
- 13438565
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- NDL書誌ID
- 4671394
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- NDLサーチ
- CiNii Articles
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- 抄録ライセンスフラグ
- 使用不可
